Kupfer-CMP/CMP-Abwasserbehandlung – Eine klassische Methode mit einem Schuss Recycling

Ein in Silicon Valley beheimateter Werkzeughersteller für die Halbleiterindustrie wandte sich an Siemens Water Technologies, vormals USFilter, wegen Unterstützung bei der Konstruktion einer automatischen Wasseraufbereitungsanlage für CMP- und Kupfer-CMP-Abfälle. Nach sorgfältiger wirtschaftlicher Analyse wurde deutlich, dass der größte Teil der Betriebskosten für die Aufbereitungsanlage auf die Entfernung des giftigen Abfallschlamms aus einer klassischen zweistufigen Ausfällungs- und Klärungsanlage entfiel. Jede Fällungsmethode produziert Kupferschlamm, der im US-Bundesstaat Kalifornien als Sonderabfall behandelt werden muss.

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